mems芯片是什么

mems芯片是什么?

mems芯片是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内，比它更小的，在纳米范围类似的技术被称为纳机电系统。MEMS最初大量用于汽车安全气囊，而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域，随着MEMS技术的进一步发展，以及应用终端轻，薄，短，小的特点，对小体积高性能的MEMS产品需求增势迅猛，消费电子，医疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。